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滨松MEMS-FTIR C12606系列
MEMS-FTIR（傅里叶转换红外光谱）光谱仪是一个紧凑的，低成本的傅里叶转换红外光谱仪，一个迈克尔逊干涉仪以及红外探测器都打包在一个小小的光谱仪中。通过USB连接到电脑上能够进行光谱测量以及吸光度测量。
葡萄糖溶液测量
（使用MEMS-FTIR可以实现葡萄糖密度的高精准预估）
MEMS干涉仪SEM图像
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