MEMS-FPI NIR Spectrum Sensor，全称“MEMS法布里珀罗腔型近红外光谱探测器”，简称MEMS-FPI。是2015年滨松公司新推出的一款超小型、低成本的光谱探测产品。
该器件彻底打破了传统意义上人们对于光谱仪的认知，不仅原理上跟传统光谱仪完全不同，还将微型化做到了新的极致，这主要源于以下几方面的努力：
首先，该器件使用的分光技术不是常规的光栅，而是极为罕见的方法——法布里珀罗标准具，所以使得该光谱仪仅仅使用单点的InGaAs探测器，就能够得到光谱图。因此较大地节省了InGaAs材料，降低了制作成本，并且缩减了探测器部分的体积。
其次，法布里珀罗标准具的制作，采用的是MEMS加工方法，从而分光部分的体积也减小不少，探测器部分和分光部分也被紧凑地封装在了一个器件之中。
该MEMS-FPI（光谱范围在1.55~1.85μm）可以实现对气体（环境测量）、食品和饮料、农产品、饲料、石油化工等产品的检测。在便携式、可穿戴等民用产品中具有较好应用前景。目前滨松拥有该产品的少量配套评估板和软件可供产品的评估用。
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MEMS-FPI C13272
MEMS-FPI C13272 结构图
