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滨松光子株式会社已开发出一款开放型300kV微焦点X射线源，其焦点尺寸最小只有4微米。极小的焦点尺寸可用于无损检测以获取超清晰图像，例如在多种类型元件中寻找缺陷等。新型微焦点X射线源计划于2014年夏季发布。
在发布之前，滨松将在Photon Fair 2013上展示这款产品。，Photon Fair 2013是滨松公司的新技术展示会，将于11月7日~9日在日本滨松Act City滨松会展中心举办。
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