第二十九届中国国际电子生产设备暨微电子工业展览会(NEPCON China 2019)将于2019年4月24-26日在上海世博展览馆隆重召开。
此次展会中,滨松将以半导体制造流程为主线,展现各个环节下可能使用到的关键光电技术,展品覆盖了从器件到模块,再到系统级的产品。光电倍增管、激光驱动白光光源、sCMOS相机、背照式TDI板级相机、红外相机、等离子体工艺监控仪、膜厚仪、微焦点X射线源MFX等产品等届时将登台见面,欢迎莅临展位参观交流。
激光加热光源Spold
真空紫外光进行静电去除装置L12542