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高性能、超紧凑型电磁驱动激光扫描微振镜（MEMS mirror） S12237-03P是一个融合了我司独特的MEMS工艺的电磁驱动振镜。通过在振镜下嵌入磁石来实现超小的尺寸。伴随这磁石发出的磁场，电流流动成线圈状环绕振镜，基于弗莱明（Fleming）的左手定论，产生的洛伦兹力（Lorentz force）将驱动振镜。滨松MEMS mirror可提供较宽的光偏转角，且只需低功耗便可获得较高的镜面反射率。
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● 低电流操作
● 极小尺寸
● 宽光偏转角
MEMS mirrors/Technical information [4.73 MB/PDF]
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