| 型号 | C13027-12 |
| 可测膜厚范围（玻璃） | 10 nm to 100 μm*1 |
| 测量可重复性（玻璃） | 0.02 nm*2 *3 |
| 测量准确性（玻璃） | ±0.4 %*3 *4 |
| 光源 | Halogen light source |
| 光斑尺寸 | Approx. φ1 mm*3 |
| 工作距离 | 10 mm*3 |
| 可测层数 | Max. 10 layers |
| 分析 | FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis, Color analysis |
| 测量时间 | 3 ms/point*5 |
| 光纤连接头 | FC |
| 外部控制功能 | RS-232C, Ethernet |
| 电源 | AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | Approx. 80 VA |
| 测量波长范围 | 400 nm to 1100 nm |
● 输出信号
模拟输出：0 V至10 V /高阻抗3通道（多达三层结构）
报警输出：TTL /高阻抗1通道
警告输出：TTL /高阻抗1通道
● 输入信号
测量启动信号：TTL /高阻抗1通道
*1 转换时玻璃的折射率是1.5
*2 测量400 nm玻璃薄膜厚度时为标准偏差（公差）
*3 取决于光学系统或物镜放大倍数
*4 测量保证范围同VLSI标准测量保证文件一致
*5 最短曝光时间
● 支持PLC连接
● 缩短循环时间（最大200 Hz）
● 可测量10nm极薄薄膜厚度
● 同时测量薄膜厚度与颜色
● 安装所占空间大幅缩小（与C12562相比，安装所占空间减少30%）
● 波长覆盖范围宽（400 nm - 1100 nm）
● 软件中新增简化测量法
● 可进行表面分析
● 非恒定膜层的精确测量
● 分析光学常数（n, k）
● 作图功能
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