| 型号 | C10178-03E |
| 可测膜厚范围（玻璃） | 150 nm to 50 μm*1 |
| 测量可重复性（玻璃） | 0.05 nm*2 *3 |
| 测量准确性（玻璃） | ±0.4 %*3 *4 |
| 光源 | Halogen light source |
| 光斑尺寸 | Approx. φ1 mm*3 |
| 工作距离 | 10 mm*3 |
| 可测层数 | Max. 10 layers |
| 分析 | FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis |
| 测量时间 | 19 ms/point*5 |
| 光纤连接头 | φ12 sleeve shape |
| 外部控制功能 | RS-232C, PIPE, Ethernet |
| 电源 | AC200 V to AC240 V , 50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | Approx. 230 VA |
| 测量波长范围 | 900 nm to 1650 nm |
| 测量模式（特征） | supports NIR |
*1 转换时玻璃的折射率是1.5
*2 测量400 nm玻璃薄膜厚度时为标准偏差（公差）
*3 取决于光学系统或物镜放大倍数
*4 测量保证范围同VLSI标准测量保证文件一致
*5 最短曝光时间
● 高速、高准确性（可测膜厚范围（玻璃）：150 nm-50μm）
● 实时测量
● 非恒定膜层的精确测量
● 分析光学常量(n, k)
● 可外部控制
● 可以使用特定附件测量量子产率，反射率，透射率和吸收率
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