微型，高性能，电磁驱动的二维激光扫描MEMS振镜
S13989-01H是电磁驱动振镜，结合了我们独特的MEMS（微机电系统）技术。 通过将磁铁布置在振镜下方，可以使设备占地空间更小。 通过采用气密密封包装，可实现高可靠性。 振镜周围的线圈中流动的电流根据弗莱明定律驱动振镜产生洛伦兹力。 滨松MEMS反射振镜具有大的光学偏转角和高反射镜反射率。
特征
● 低电流运行
● 超小型尺寸
● 较大的光学偏转角
| 类型 | For 2-dimensional scan |
| 扫描模式 | 2-axis raster scan |
| 运行模式 | Fast axis: Non-linear mode (resonant mode) Slow axis: Linear mode |
| 振镜尺寸 | φ1.23 mm |
| 振镜材料 | Aluminium |
| 光学偏转角 | Fast axis: ±20° Slow axis: ±12 ° |
| 驱动频率（最大值） | Fast axis: 29.3 kHz (typ.) Slow axis: 100 Hz |
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