● 独特的无电极Z-Pinch技术（专利正在申请中）
低电极碎屑/低成本
● 使用Xenon将10W转换为2pi
产品功率充足适用于各种应用
● 高达2 kHz的重复频率
可以一周七天，每天24小时连续工作
●小等离子体尺寸
直径小于1mm
● 小型紧凑性价比高
每EUV瓦特的成本低
占地面积小
● 符合CE和SEMI S2-0715标准
● EUV测量
● EUV抗蚀剂显影
● 缺陷检查
● EUV显微
为了满足不同应用的使用需求，该产品在使用上进行了如下的优化，以期更加地用户友好：1、用户可以根据对峰值功率和峰值亮度的不同来调节EUV的光输出。2、在典型操作中，等离子体的直径通常小于1mm。3、系统外侧留有光学接口，方便客户进行应用程序设备的连接。4、自定义彩色用户页面，客户可跟根据需求选择手动或者自动菜单。
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