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iPHEMOS，面向未来
iPHEMOS-MPX 是一款高分辨率发射显微镜，可通过检测缺陷引起的微弱光发射和热发射来精确定位半导体器件中的故障位置。
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●全新激光扫描系统
单一模块适用多种光源（1.3 μm, 1.1 μm, 532 nm），支持从静态分析到动态分析的广泛范围
●工作台精度更高
为5nm工艺SOC芯片设计的线性光学工作台，提高了位置精度
●半自动探针台
Die to die指引移动和探测，以及晶圆热力图软件，提高了分析效率，节省了检测时间
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