MiNY® PL 是采用光致发光测量方法，并针对 Micro LED 晶圆的检测系统。
| 名称 | C15740-01 |
| 支持的晶圆尺寸 | 100 mm (4 inches) or 150 mm (6 inches) (other sizes negotiable) |
| 测量时间 | Approx.12 minutes(Objective lens 10 x, PL measurement, 4 inch wagers) |
| PL 测量波长 | R, G, B |
| 空间分辨率 | 1 μm/pixel (standard mode), 0.5 μm/pixel (high resolution mode) |
| 测量项目 | Shape abnormality, PL intensity, PL wavelength abnormality |
| 外形尺寸/重量 | 2000 mm (W) × 1878 mm (H) × 1130 mm (D) / Approx. 1800 kg |
| Clean room | Compatible |
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