激光驱动白光光源（Laser Driven Light Source, LDLS）是由美国著名EUV光源公司Energetiq（现已被滨松集团收购）开发并拥有专利技术的产品。其整体由一个特殊设计的灯室，驱动激光光源，激光聚焦光路，光源输出光路，光源控制器等主要部分组成。其采用无电极结构，将外置1000 nm左右波长的激光汇聚到光源灯室中，加热氙等离子体至足够高温时便会发光。LDLS有高效的光收集能力，亦可在深紫外至可见光以及更宽的光谱范围（170 nm ~ 2100 nm）内提供超高发光亮度，其在DUV的亮度是传统光源如氙灯的10倍以上。另外，整个光源的发光寿命相比较于传统光源也高出近一个数量级（>9000 h），且稳定性得到了极大的提高。
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本文介绍了传统光源的局限性，LDLS的基本原理、优势性能、产品系列及应用范围。
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Energetiq Technology的激光驱动光源（LDLS™）技术是光学元件测试和校准应用的理想选...
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工程师在本讲座中详细介绍了LDLS的原理、性能特点、典型应用案例，以及应用中的常见问...
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关于Energetiq的LDLS常见问题解析。
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