激光驱动白光光源（Laser Driven Light Source, LDLS）是由美国著名EUV光源公司Energetiq（现已被滨松集团收购）开发并拥有专利技术的产品。其整体由一个特殊设计的灯室，驱动激光光源，激光聚焦光路，光源输出光路，光源控制器等主要部分组成。其采用无电极结构，将外置1000 nm左右波长的激光汇聚到光源灯室中，加热氙等离子体至足够高温时便会发光。LDLS有高效的光收集能力，亦可在深紫外至可见光以及更宽的光谱范围（170 nm ~ 2100 nm）内提供超高发光亮度，其在DUV的亮度是传统光源如氙灯的10倍以上。另外，整个光源的发光寿命相比较于传统光源也高出近一个数量级（>9000 h），且稳定性得到了极大的提高。
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该栏目中将对激光驱动白光光源（LDLS）产品、独特性能等信息进行详细介绍。
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本栏目介绍了激光驱动光源（LDLS）的应用方向，以及案例。
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此栏目下为各产品的详细产品技术资料汇总、FAQ等内容。