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激光驱动光源(LDLS) 您的位置:首页--文章中心
激光驱动白光光源(Laser Driven Light Source, LDLS)是由美国著名EUV光源公司Energetiq(现已被滨松集团收购)开发并拥有专利技术的产品。其整体由一个特殊设计的灯室,驱动激光光源,激光聚焦光路,光源输出光路,光源控制器等主要部分组成。其采用无电极结构,将外置1000 nm左右波长的激光汇聚到光源灯室中,加热氙等离子体至足够高温时便会发光。LDLS有高效的光收集能力,亦可在深紫外至可见光以及更宽的光谱范围(170 nm ~ 2100 nm)内提供超高发光亮度,其在DUV的亮度是传统光源如氙灯的10倍以上。另外,整个光源的发光寿命相比较于传统光源也高出近一个数量级(>9000 h),且稳定性得到了极大的提高。
产品介绍

产品介绍

该栏目中将对激光驱动白光光源(LDLS)产品、独特性能等信息进行详细介绍。