硅芯片的红外透射成像_滨松光子学商贸(中国)有限公司

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本网页为滨松绝对量子产率分析仪Quantaurus-QY在实际使用中的FAQ。

所用相机：
        C10633-23 InGaAs红外相机
显微物镜：
        LCPlan N 100x/0.85 IR
成像方法：
        近红外透射明场成像，反射明场成像

拍摄条件：
曝光时间15ms

# 详细描述

样品为基于硅片的微型半导体芯片的多层结构。硅片本身不透明，使用反射光仅能看清表面结构。我们使用红外显微镜配合滨松红外相机拍摄，利用红外光对"不透明"的硅片所具有的穿透性，就可以看清楚芯片内部各层的结构。

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