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空间光调制器LCOS-SLM选型及参数解析

本网页为上转换材料相关研究的滨松产品方案介绍。


空间光调制器是采用LCOS(Liquid Crystal On Silicon, 硅基液晶)芯片来调节光波前的振幅或相位的光学器件。LCOS芯片是由液晶像元组成的像素阵列,每个像素都能单独地调制光。对于同一束光来说,像元的尺寸越小,调制的就越精细;像素的个数就是芯片的分辨率,分辨率越高,可调制的自由度就越高。对于滨松LCOS本身的性质来说,它只改变光的相位,而不影响光的强度和偏振状态。(如果要调制振幅/光强,需要通过光路来实现,具体光路参见:SLM振幅调制光路)。通过改变电压来改变液晶的排列方式,相位调制随着液晶的排列方式而变化。通过CMOS背板和PC输出的DVI信号,液晶的排列是单像素可控的。


目前市面上的LCOS产品中,滨松LCOS在高端市场中以更优秀的性能赢得了众多用户的好评——高线性度、高光利用率、高衍射效率,等等。


一、产品型号的选择

1. 确认分辨率和像元大小


LCOS是由像素阵列组成的,滨松可以提供的分辨率为1272×1024. 新系列X15213表示在产品型号的前半部分,后半部分表示对应的型号,各型号的波长范围不同,如X15213-08. 见下表:



表中"有效面积(Effecttive area size)"是指LCOS头上可以对光进行调制的液晶面的面积。"填充因子(Fill factor)"是指单个像素有效面积占总面积的百分比,这个值在影响光利用率方面比较关键(光利用率在本文后面会进行介绍)。某些厂家将该值Fill factor的概念与像素间间距(Inter pixel gap)合起来表示该值,因此他们通常将Fill factor标成100%,但同时他们的Inter pixel gap高达1.3μm,而这个Inter pixel gap他们是不会给出的,因此参数就会显得很好看。而滨松本着实事求是的原则将实际Fill factor写出,并且滨松的Inter pixel gap只有0.2μm。所以用户在使用的时候,需要考虑的是综合了Fill factor和Inter pixel gap的真正的填充率,只有高Fill factor,没有小的Inter pixel gap, 实际上的填充效果其实并不好。后面的重量是指LCOS头的重量,产品采用轻量化设计,在保证性能不变的情况下,重量为152g,水冷型号的由于增加了制冷部分,重量为552g。


2. 选择相应的波段


每个系列的LCOS产品都包含若干个不同的型号,以尾缀的形式表示。如X15213-08中的-08就是指该型号的产品可调制波长范围为1000nm-1550nm,见下表:



其中对于-05型号来说,波长小于400nm的紫外光会对LCOS造成损伤,更多细节请向我们咨询。对于-08型号,波长1350nm-1400nm这一段由于玻璃基片的吸收会导致反射率(光利用率)下降约5%。尾缀带有字母L或者R的代表水冷型号的水冷管接口在左(L)或者在右(R),以R为例详见下图图纸。




3. 注意光阈值


LCOS是不能照射超过阈值的光的,如果超过阈值光强,则会发生损伤,轻则线性度下降,重则液晶层融化。滨松LCOS的光阈值在同类产品中属于较高的水平,具体值由于型号、波长、用户使用的光源类型不同会有很大差异,请参考空间光调制器光强阈值资料及计算方法。对于不同系列的相同尾缀的型号,具有相同的光阈值,如X15213-03CL的光阈值和X15213-03相同。


另外,从波长选型中可以看到,不同尾缀的各种型号中,-01,-07,-08这三种型号的波长范围较长;而其他几种型号的波长范围较短,这是因为它们在液晶的底层加了介质镜(Dielectric mirror),大大提高了光阈值和光利用率,但也将波长范围限制在一个比较小的范围内。






二、重要性能参数


1.光利用率(反射率)


为了提高光的利用率,在调制的过程中将光能的损失降到最低,滨松的LCOS产品均为反射式。这里光利用率就定义为光经过LCOS液晶面反射的反射率。定义为:平均反射光强占入射光强的百分比。


各个型号的光利用率


滨松可以提供400nm-1550nm范围内的OEM定制产品,我们可以为您专门优化您应用中需要用到的波长。具体需求请联系我们。另外,有些品牌将反射率称为"零级衍射效率",这其实是一回事,不要把"零级衍射效率/光利用率/反射率"与"一级衍射效率"混淆。


2.一级衍射效率


一级衍射效率才是LCOS真正的"衍射效率",是通过加载闪耀光栅时(将LCOS作为光栅使用)一级衍射光的能量占零级衍射光(入射灰阶从0到255变化时的平均值)能量的百分比来定义的。绝大多数应用中,实际使用的都是一级光,这种情况下一级衍射效率越高,调制效率就越高。(但是同样的产品,像元越小,一级衍射效率也会相应变小。所以分辨率和一级衍射效率是两个此消彼长的量。)



X15213系列具体数值如下:



具体计算方法见:空间光调制器LCOS-SLM的衍射效率


注意!实验室静电有可能造成衍射效率下降,请注意防护。


3. 线性度


相位调制的线性度在光调制的精度方面是一个至关重要的参数,而滨松致力于追求等高精度的调制,在线性度方面做到了行业顶级。且得益于优秀的硬件线性度和出厂自带所有参数内波长的LUT曲线,为用户省去了标定的麻烦,进一步提高了调制精度。 滨松线性度:



强光下依然保持良好的线性度——







相关资料


LCOS-SLM英文彩页
产品基础知识全解析。


LCOS-SLM文献
关于该产品选型、应用、使用中的FAQ。


应用案例——涡旋光
应用案例合集。


应用案例——激光加工
应用案例合集。


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LCOS资料汇总。


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