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【FAQ】MEMS振镜(Mems mirror)

#常见问题

Q1: 在使用三角波驱动时产生如左图所示的断续的波形,是什么原因?有什么好的办法可以改善?


Q2:2D MEMS Mirror S13989-01H的扫描模式? NEW


Q3: 在使用三角波驱动时产生如左图所示的断续的波形,是什么原因?有什么好的办2D MEMS Mirror S13124-01的扫描模式? NEW


Q4: 3.目前SSD MEMS Mirror标准品的镜面反射率 NEW



Q1:在使用三角波驱动时产生如左图所示的断续的波形,是什么原因?有什么好的办法可以改善?


在驱动Mems mirror时,当驱动信号使用锯齿波驱动,锯齿波内的高频谐波分量会干扰Mems振镜的运动,当该类谐振分量接近共振频率时,就会引入共振或振铃现象。

小振铃现象的手段包括:

1)将驱动信号调整为谐振频率的几分之一(1/2、1/3、1/4...)以外的信号。

2)将驱动信号的上升和下降时间设置的更长,设置为远高于几个谐振频率下对应的数值。

3)避免将上升和下降切换的波形直接设置为拐点,需要带一些弧度。



Q2:2D MEMS Mirror S13989-01H的扫描模式?

 


S13989-01H是直径为1.2mm的2D MEMS Mirror,其中一个轴工作在谐振模式,振动频率29.3kHz,谐振轴不可调;另一个轴工作在线性模式,工作在线性模式的轴线性可调,最大振动频率100Hz。


Q3:2D MEMS Mirror S13124-01的扫描模式?

 

S13124-01是直径为1.95mm的2D MEMS Mirror,两个轴均工作在线性模式,两个轴可以单独控制线性调节,两个轴最大谐振频率均为90Hz。


Q4:目前SSD MEMS Mirror标准品的镜面反射率?


目前SSD MEMS Mirror标准品的镜面材质均为Al,反射率随波长变化曲如下:




如需订制其他材质的镜面,也请与我们进行联系。

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